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内容简介
本书内容涵盖等离子体技术典型应用和等离子体技术领域进展，把等离子体技术的理论知识与实践教学有机结合起来，设计实验教学体系并配套搭建等离子体技术实验教学平台，培养学生从事科研工作的兴趣。全书分为四大部分：等离子体基本原理实验；等离子体在材料工程中的应用
目录
第一部分：等离子体基本原理实验1
实验一直流低气压放电现象观察及伏安曲线的测量1
实验二气体击穿电压的测定及帕邢定律验证10
实验三汤森第一电离系数α及比值α/p的测定15
实验四直流辉光放电等离子体参数的测量19
实验五射频等离子体的激发特性研究25
实验六非磁化微波等离子体电子参数的测量29
实验七ECR微波等离子体离子参数的测量33
第二部分:等离子体在材料工程中的应用39
实验八微波等离子体化学气相沉积实验——形核研究39
实验九微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜实验44
实验十直流等离子体溅射制备碳膜实验49
实验十一微波等离子体烧结氧化铝陶瓷实验56
实验十二微波等离子体冶金实验62
实验十三常压微波等离子体引发聚合实验67
实验十四微波等离子体射流制备纳米硅及其荧光特性研究72
实验十五直流辉光等离子体表面改性实验78
实验十六 等离子体渗氮硬化金属表面实验85
实验十七微波等离子体化学气相沉积法低温合成碳纳米管92
实验十八纳米TiO2薄膜的微波等离子体改性99
实验十九空心微珠表面磁控溅射镀金属铜膜104
第三部分:等离子体在微电子中的应用113
实验二十 ECR微波等离子体刻蚀加工实验113
实验二十一微波等离子体CVD制备多晶硅薄膜太阳能电池实验117
实验二十二等离子体发射光谱分析实验126
实验二十三电子束蒸发镀膜与薄膜光学特性分析134
第四部分：等离子体在环境工程中的应用143
实验二十四 电晕等离子体处理有机废水的退色实验143
实验二十五电晕等离子体处理对有机废水化学需氧量(COD)的影响150
实验二十六常压微波等离子体射流处理有机工业废气实验154
实验二十七 常压微波等离子体射流处理含硫废气实验158
实验二十八 低温射频等离子体杀菌消毒实验165