光学元件微纳制造与精密检测技术

内容简介

《光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表，完整阐述了以超精密、确定性为特征的光学制造系统；重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术；围绕实现确定性抛光，详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术；介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术，加工轨迹规划原理和数据处理方法，以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。
　　本书内容丰富，理论分析深入，既涵盖了国内外光学制造技术领域的研究进展，又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果，对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。

目录

第1章  绪论
  1.1  光学元件的应用及制造技术要求
    1.1.1  光学元件的特点
    1.1.2  光学元件的应用
    1.1.3  光学元件的制造技术要求
    1.1.4  光学元件的制造技术范畴
  1.2  光学元件的制造技术
    1.2.1  光学元件的模压成形技术
    1.2.2  光学元件的精密切削技术
    1.2.3  光学元件的精密磨削加工技术
    1.2.4  光学元件精密研抛技术
    1.2.5  精密光学加工环境控制技术
  1.3  光学元件的检测与评价技术
    1.3.1  光学元件的检测要求及难点
    1.3.2  光学元件的检测技术
    1.3.3  光学误差的评价方法
  参考文献
第2章  光学元件加工装备技术
  2.1  机床设计理论
    2.1.1  机床设计要求
    2.1.2  机床设计方法
  2.2  超精密机床关键部件及技术
    2.2.1  主轴部件
    2.2.2  直线导轨部件
    2.2.3  微位移进给部件
  2.3  超精密机床数控技术
    2.3.1  数控技术
    2.3.2  超精密加工数控系统
    2.3.3  开放式数控系统
    2.3.4  超精密磨床数控电气设计实例
  2.4  超精密磨削加工装备
    2.4.1  超精密加工装备技术综述
    2.4.2  超精密磨削成形机床
  2.5  超精密加工工具技术
    2.5.1  超精密切削加工具技术
    2.5.2  超精密磨削砂轮技术
  参考文献
第3章  光学元件磨削技术
  3.1  超精密磨削加工发展
    3.1.1  光学元件磨削技术概述
    3.1.2  延性磨削和镜面磨削
  3.2  超精密磨削过程分析
    3.2.1  超精密磨削机理
    3.2.2  磨削过程基本参数
  3.3  超精密磨削加工关键技术
  3.4  砂轮修整
    3.4.1  杯形砂轮修整
    3.4.2  ELID在线电解修整
    3.4.3  放电修整
    3.4.4  激光修整
    3.4.5  微小型磨削砂轮修整技术
  3.5  非球面磨削加工技术
    3.5.1  微小非球面加工技术
    3.5.2  大口径非球面磨削加工技术
    3.5.3  自由曲面磨削加工技术
  3.6  工艺软件设计开发
    3.6.1  数控编程格式
    3.6.2  微小型非球面工艺软件开发实例
    3.6.3  大口径非球面工艺软件开发实例
  3.7  超声振动复合磨削加工技术
  3.8  加工实例
  参考文献
第4章  光