MEMS集成设计技术及应用

内容简介

《MEMS集成设计技术及应用》先在简要介绍MEMS(MicroElectroMechanicalSystems)设计技术与设计工具基础之上，对MEMS设计的关键技术——系统级设计技术、器件级设计技术、工艺级设计技术以及各层级转换接口技术，进行了详细的分析与论述。然后对基于这些关键技术和泛结构化MEMS集成设计方法的MEMSGarden的做了介绍，并通过杠杆放大微加速度计说明了其操作方法。，通过大量不同种类的MEMS器件的设计实例验证了MEMSGarden的通用性与性。
　　读者对象：大专院校MEMS等专业的学生，可将本书用做教材或参考书；MEMSGarden用户可将本书用做使用手册。

目录

第1章  绪论
  1.1  引言
  1.2  MEMS集成设计技术
  1.3  MEMS集成设计工具现状与发展趋势
  1.4  国外主要MEMS集成设计工具
    1.4.1  CoventorWare
    1.4.2  MEMS+
    1.4.3  MEMS Pro／MEMS Xplorer
    1.4.4  IntelliSuite
  1.5  国内MEMS集成设计工具
  1.6  MEMS集成设计关键技术
  参考文献
第2章  MEMS系统级仿真平台构建技术
  2.1  引言
  2.2  MEMS系统级前处理器技术
    2.2.1  系统级模型的图形化建模平台技术
    2.2.2  系统级异构建模技术
    2.2.3  系统级模型网表生成技术
  2.3  MEMS系统级求解器技术
    2.3.1  外部网表文件直接求解技术
    2.3.2  模拟信号求解技术
    2.3.3  MEMS与接口电路的跨尺度混合信号仿真技术
    2.3.4  系统级设计优化技术
  2.4  MEMS系统级后处理器技术
    2.4.1  系统级解算结果波形显示技术
    2.4.2  系统级仿真结果的三维可视化技术
  参考文献
第3章  MEMS系统级多端口组件建模技术
  3.1  引言
  3.2  多端口组件模型的建立
    3.2.1  多端口组件的一般形式
    3.2.2  多端口组件网络
    3.2.3  基于硬件描述语言的编码技术
    3.2.4  MEMS的多端口三维组件库
    3.2.5  结构域组件行为建模方法
    3.2.6  多域耦合组件行为建模方法
    3.2.7  微流控芯片组件行为建模方法
  3.3  多端口组件模型的自主定义与扩展方法
    3.3.1  组件构成及其行为方程
    3.3.2  组件自主定义软件
  参考文献
第4章  MEMS器件级仿真平台构建技术
  4.1  引言
  4.2  MEMS器件级仿真模型库构建技术
    4.2.1  基于算例库的MEMS器件级仿真模型库构建技术
    4.2.2  有限元形函数库的建立方法
  4.3  器件物理方程自主定义与求解技术
  4.4  MEMS器件级求解器技术
    4.4.1  单能量域分析求解技术
    4.4.2  多域耦合分析求解技术
  4.5  器件级设计优化技术
  4.6  器件级仿真结果可视化技术
    4.6.1  数据处理方法
    4.6.2  数据显示方法
    4.6.3  数据保存方法
  参考文献
第5章  宏建模技术
  5.1  引言
  5.2  大规模线性系统的动态宏建模方法
    5.2.1  基于Krylov子空间投影的宏建模原理
    5.2.2  基于迭代IRS技术的动态宏建模方法
  5.3  非线性系统的动态宏建模方法
    5.3.1  大变形非线性
  &nbs